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真空コンプレッサ
真空コンプレッサ (小形)
電源だけで真空ラインが確保できるため、吸着工程エリアが制限されないコンパクトな真空ポンプです。
駆動機器
駆動機器 (パッド付シリンダ)
吸着と搬送を一つにしたシリンダです。小形でコンパクト、短いストロークに適します。
制御機器
制御機器 (丸形直動形電磁真空弁)
長年の実績に裏づけられた高信頼性真空用、丸形ソレノイドバルブ、電磁弁です。正圧、負圧併用タイプもあります。
制御機器 (丸形パイロット形電磁真空弁)
小形から大形まで幅広い機能をもつ真空用丸形ソレノイドバルブ、電磁弁です。構造がシンプルで幅広い用途に使用可能。
制御機器 (角形直動形電磁真空弁)
真空用角形ソレノイドバルブ、電磁弁です。正圧、負圧併用タイプもあります。
制御機器 (角形パイロット形電磁真空弁(1))
小形から大形まで幅広い機能をもつ真空用角形ソレノイドバルブ、電磁弁です。
制御機器 (角形パイロット形電磁真空弁(2))
小形から大形まで幅広い機能、省スペース、低消費電力などを追求した真空用角形ソレノイドバルブ、電磁弁です。
制御機器 (丸形シングルパイロット作動真空弁)
電気を使用しない真空用制御のメインバルブ、パイロット用バルブに最適な長寿命、高性能な真空丸形バルブです。
制御機器 (丸形ダブルパイロット作動真空弁)
電気を使用しない真空用制御のダブルパイロット真空丸形バルブです。メインバルブ、パイロット用バルブに最適。
制御機器 (手動真空弁)
手動操作で真空圧の流れを制御するバルブです。押しボタン、レバー形方式などをラインナップ。コンパクトで軽量、故障の少ない構造です。
制御機器 (足踏真空弁)
足操作で真空圧の流れを制御するバルブです。作動状態の保持が可能で、手作業をしながら操作可能です。
制御機器 (機械作動真空弁)
生産ラインでカムやシリンダのロッドなどで真空圧の流れを制御するバルブです。コンパクトで軽量、故障の少ない構造です。
制御機器 (ユニット真空)
真空ポンプを使用した吸着搬送システム(バキュームパッド)の、真空制御(吸着、確認、離脱)を行ないます。
真空発生装置
真空発生装置 (マイクロエジェクタ)
圧縮空気から負圧を発生させる真空発生装置です。真空ポンプがなくても容易に負圧を発生させます。高速応答仕様、低ワット仕様もラインナップ。
真空発生装置 (マイクロエジェクタ多段式)
圧縮空気から負圧を発生させる真空発生装置です。真空ポンプがなくても容易に負圧を発生させます。マニホールド構成が可能です。
調質機器
調質機器 (FRL)
真空パッドなどの吸着機器に近い箇所に設置し、真空の質、調圧を確実に行ないます。圧力計、ゲージ等も豊富。
調質機器 (圧力計)
様々な取付けが可能で、視認性が良くスタンダード製品です。
補助機器
補助機器 (真空スイッチ)
設定圧力が変化した際、検知して信号をフィードバックする電子式、デジタル式等圧力スイッチです。負圧検知可能、部品の吸着確認などに最適。
補助機器 (製品専用真空スイッチ)
各製品に装着可能な電子式、デジタル式等圧力スイッチです。負圧検知可能、部品の吸着確認などに最適。
真空パッド
真空パッド (標準タイプ･横配管)
吸着口に対して垂直に配管を取り出せます。各種豊富なバリエーション。
真空パッド (標準タイプ･縦配管)
吸着口に対して同方向に配管を取り出せます。各種豊富なバリエーション。
真空パッド (首振りタイプ･横配管)
角度をもったワーク等にもパッドが追従します。各種豊富なバリエーション。
真空パッド (回転レスタイプ･横配管)
吸着したワークが回転しないでさせたくない搬送に適しています。各種豊富なバリエーション。
真空パッド (パッドゴム標準)
NBR、シリコン他豊富なゴム材質にて対応しております。
真空パッド (パッドゴム首振り)
首振り用パッドゴムです。NBR、シリコン他豊富なゴム材質にて対応しております。
真空パッド (パッドゴム回転レス)
回転レス用パッドゴムです。NBR、シリコン他豊富なゴム材質にて対応しております。
搬送機器
搬送機器 (搬送装置)
ワークに接触することなく搬送を可能にした製品です。半導体ウェハー、ガラス、通気性のあるワーク、凹凸形状などの保持が可能。
搬送機器 (搬送装置用センサコントローラ)
世界初の設定方法の開発で圧力変動の影響を受けない、微小ワーク吸着検出を実現。
搬送機器 (搬送装置用流量センサコントローラ)
微小ワーク吸着検出を流量で検出可能としました。
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