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ポンプ
ポンプ（電動ＲＴポンプ）
フィルムやガラス基板に少量の液で薄膜形成を行なう有機ＥＬや太陽電池、タッチパネルなどに対応するポンプです。チューブフラムでありながら、プランジャポンプと同様の応答性を実現しました。
ポンプ (FPD用電動CTポンプ)
均一な薄膜塗布が要求される液晶、ＰＤＰ、有機ＥＬ等の基板用スリットコーターに対応する電動ポンプ。高信頼のＣＴポンプ構造をさらに進化させて定流量性制御も可能になりました。最大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、３００mlと、お客様の基板サイズ及び使用用途に合せたポンプサイズをラインアップ。
ポンプ (電動CTポンプ)
微細化する半導体ウェハに対応する次世代電動ポンプ、定量吐出ポンプです。世界初(注)のCTポンプ構造を開発、低発塵、泡抜けの良さ、シンプル構造で高精度を実現しました。
ポンプ (電動ベローズポンプ)
制御のしやすいステッピングモータを使用したポンプ。
ポンプ (空気圧ベローズポンプ)
エアシリンダ駆動のローコスト、低価格なポンプ。
ポンプ (ポンプコントローラ)
電動CTポンプ、電動ベローズポンプを制御するコントロールユニット。
ディスペンスユニット
ディスペンスユニット (ディスペンスユニット本体)
薬液ボトルからノズルまで一括制御可能なユニット。
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